Super X-straal oppervlaktedigtheidsmetingsmeter

Toepassings

Meting aanpasbaar tot meer as 1600 mm breedte van die deklaag. Ondersteun ultrahoëspoed-skandering.

Klein kenmerke soos dunner wordde areas, skrape, keramiekrande kan opgespoor word.

Produkbesonderhede

Produk-etikette

Beginsels van meting

Wanneer die straal die elektrode bestraal, sal die straal deur die elektrode geabsorbeer, gereflekteer en verstrooi word, wat lei tot 'n sekere verswakking van die straalintensiteit na die deurgelate elektrode relatief tot die invallende straalintensiteit, en die verswakkingsverhouding daarvan is negatief eksponensieel met die gewig of oppervlakte-digtheid van die elektrode.

I=I_0 e^−λm⇒m= 1/λln(I_0/I)

I_0: Aanvanklike straalintensiteit

I: Straalintensiteit na die deurlaatelektrode

λ: Absorpsiekoëffisiënt van gemete voorwerp

m : Dikte/oppervlaktedigtheid van gemete voorwerp

Toerustinghoogtepunte

Vergelyking van halfgeleiersensor en lasersensormeting

● Meting van gedetailleerde buitelyne en kenmerke: meting van oppervlakte-digtheid-buitelyne met millimeter ruimtelike resolusie en hoëspoed en hoë-presisie (60 m/min)

● Ultrawydtemeting: aanpasbaar tot meer as 1600 mm breedte van die deklaag.

● Ultrahoëspoed-skandering: verstelbare skanderingspoed van 0-60 m/min.

● Innoverende halfgeleierstraaldetektor vir elektrodemeting: 10 keer vinniger reaksie as tradisionele oplossings.

● Aangedryf deur 'n lineêre motor met hoëspoed en hoë presisie: skanderingspoed word met 3-4 keer verhoog in vergelyking met tradisionele oplossings.

● Selfontwikkelde hoëspoed-meetkringe: monsterfrekwensie is tot 200 kHz, wat die doeltreffendheid en akkuraatheid van die geslote luslaag verbeter.

● Berekening van verdunningskapasiteitsverlies: die kolwydte kan tot 1 mm klein wees. Dit kan gedetailleerde kenmerke soos die buitelyne van die randverdunningsarea en skrape in die laag van die elektrode akkuraat meet.

Sagteware-koppelvlak

Aanpasbare vertoon van die hoofkoppelvlak van die meetstelsel

● Bepaling van die verdunningsarea

● Kapasiteitsbepaling

● Krasbepaling

Tegniese Parameters

Item	Parameter
Stralingsbeskerming	Die stralingsdosis van 100 mm vanaf die toerustingoppervlak is minder as 1 μsv/h
Skandeerspoed	0-60m/min verstelbaar
Steekproeffrekwensie	200k Hz
Reaksietyd	<0.1ms
Meetbereik	10-1000 g/㎡
Plekwydte	1mm, 3mm, 6mm opsioneel
Metingsakkuraatheid	P/T≤10%Integraal in 16 sekondes: ±2σ: ≤±ware waarde × 0.2‰ of ±0.06g/㎡; ±3σ: ≤±ware waarde × 0.25‰ of ±0.08g/㎡;Integraal in 4 sekondes: ±2σ: ≤±ware waarde × 0.4‰ of ±0.12g/㎡; ±3σ: ≤±ware waarde × 0.6‰ of ±0.18g/㎡;